Drei Tipps zur Verlängerung der Lebensdauer Ihrer Dichtungen in Halbleiteranwendungen

Weltweite Knappheit im Bereich der Halbleiter übt in Verbindung mit der anhaltenden Nachfrage einen enormen Druck auf die Chiphersteller aus, ihre Kapazitäten zu erhöhen. Die Halbleiterhersteller bemühen sich zwar verstärkt um eine Steigerung der Produktion, und die US- Regierung stellt mit dem CHIPS Act und dem FABS Act finanzielle Mittel zur Verfügung, um die langfristigen Herausforderungen zu bewältigen, jedoch können damit die unmittelbaren Kapazitätsengpässe höchstwahrscheinlich nicht gelöst werden. Derzeit konzentrieren sich fast alle Chiphersteller auf die Maximierung von Ertrag und Produktivität, um die Anforderungen der Kunden erfüllen zu können.

Die Wartung der Maschinen und Geräte sowie die ordnungsgemäße Verwendung von Ersatzteilen und Verbrauchsmaterial sind für die Aufrechterhaltung des Betriebs in den Fabriken von entscheidender Bedeutung. Sorgfalt bei der Materialauswahl und der Konstruktion sowie die ordnungsgemäße Installation können dazu beitragen, Leckagen und andere Probleme im Zusammenhang mit Dichtungen zu vermeiden, die die Produktion verlangsamen oder sogar stoppen und zu Produktivitätsausfällen führen können. Greene Tweed beliefert seit über 30 Jahren die Branche mit kritischen Dichtungskomponenten, wie z. B. Chemraz® FFKM-Dichtungen. Wir sind führend in der Konstruktion, Entwicklung und Herstellung von Elastomerdichtungen für den Einsatz in Produktionsanlagen für die Chipherstellung.

 

Die längere Lebensdauer der Dichtungen bedeutet offensichtlich Vorteile für die Fertigungsbetriebe. Eine schnelle und einfache Möglichkeit zur Maximierung der Lebensdauer einer Dichtung ist die Einhaltung einiger guter Installationspraktiken. Viele Dichtungsfehler in der Praxis sind auf eine unsachgemäße Installation zurückzuführen. Bei der Umsetzung einiger bewährter Verfahren sind diese jedoch völlig vermeidbar. Im Rahmen ausgiebiger Tests verschiedener Dichtungsmaterialien über die letzten Jahrzehnte haben unsere Ingenieurteams bewährte Verfahren entwickelt, um die Lebensdauer von O-Ringen in Halbleiteranwendungen zu verlängern.

Installation – Vermeiden Sie den Einbau von Dichtungen nach dem Prinzip der „Rennbahn“, d. h. die Dichtung in einer Stopfbuchse an einem Punkt anzupressen und sie von dort ausgehend kreisförmig zu positionieren. Dies kann zu lokalisierten Bereichen mit hoher Dehnung führen, die in einzelnen Bereichen der überbeanspruchten Stellen der Dichtung Risse verursachen können. Das führt zu vorzeitigen Undichtigkeiten und verkürzt im Vergleich zu korrektem Einbau die zu erwartende Lebensdauer.

Verwenden Sie stattdessen eine Ankerpunktmethode, bei der die Dehnung einer Dichtung gleichmäßiger verteilt wird.

Entfernung – Verwenden Sie immer weiche Werkzeuge, um die Oberfläche der Stopfbuchsen nicht zu verkratzen. In Fabriken werden häufig Metallstifte zum Herausziehen gebrauchter Dichtungen verwendet. Leider kann die Verwendung dieser Werkzeuge die Oberfläche der Stopfbuchsen zerkratzen und Furchen in den Beschlägen verursachen. Diese Furchen führen in Hochvakuumumgebungen unweigerlich zu Undichtigkeiten und sind oft nur sehr schwer zu erkennen. Die Verwendung von Kunststoffwerkzeugen ist zu bevorzugen, da diese beim Austausch von Dichtungen während der routinemäßigen Wartung die Integrität von Stopfbuchsen erhalten.

Problembereiche – Einige Dichtungen sind schwierig zu installieren. Dazu gehören beispielsweise Dichtungen mit kleinem Querschnitt wie ESC-Dichtungen und Endeffektor-Pads. In diesen Situationen verfügt Greene Tweed über Erfahrung mit der Entwicklung und Bereitstellung individueller Installationswerkzeuge, um die Möglichkeit von Fehlern bei der Installation am Einsatzort zu verringern.

 

Kontaktieren Sie Greene Tweed, um weitere Informationen zur Lösung Ihrer Dichtungsprobleme zu erhalten.