Komplexe Chemien und höhere Temperaturen treiben die Evolution der SubFab-Dichtungslösungen voran

Die SubFab ist von zentraler Bedeutung für die Aufrechterhaltung der betrieblichen Effektivität der darüber liegenden Reinraumumgebung. Während Wafer eine Vielzahl von Prozessen wie Ätzen und Abscheidung durchlaufen, werden entweichende entzündliche, oxidierende und ätzende Gase durch Abluftleitungen zur sicheren Entsorgung in die SubFab befördert.

Gase, die in die SubFab strömen, kondensieren in den Abgasleitungen, wodurch sich Partikel ablagern und zu vorzeitigem Versagen von Anlagen führen können. Wärmemanagementsysteme werden eingesetzt, um die Temperaturen in den Abgasleitungen zu erhöhen und die Gasmoleküle in Bewegung zu halten. Die Entwicklung hin zu höheren Temperaturen, um Kondensat zu vermeiden, erhöht den Bedarf an zuverlässigen Dichtungen in Maschinen und Geräten, einschließlich Pumpen, Absauganlagen und Ventilen.

Bei der Auswahl des Dichtungsmaterials ist die Temperatur- und Chemikalienbeständigkeit gegenüber hochreaktiven Gasen und Radikalspezies zu berücksichtigen. Die Auswahl oder der Einbau des falschen Materials in eine SubFab-Anwendung könnte die Integrität der Dichtung beeinträchtigen und möglicherweise zu einem ungeplanten Wartungsereignis führen, das die Produktion im darüber liegenden Reinraum beeinträchtigen könnte.

In SubFabs werden häufig Elastomere als Dichtungsmaterial gewählt. Elastomerdichtungen sind flexibel, langlebig, einfach zu installieren und passen sich gut an viele verschiedene Oberflächen an. Fluorelastomere, einschließlich FKM und FFKM, werden häufig als Dichtungsmaterialien für die SubFab gewählt.

FKM für allgemeine Zwecke zeichnen sich durch gute chemische Verträglichkeit und hohe Temperaturbeständigkeit aus. Mit der technologischen Innovation werden die Fab-Bedingungen immer aggressiver und stoßen an die Grenzen von Allzweck-FKM in der SubFab. Greene Tweeds hochleistungsfähiges Fusion® F10 ist ein hochfluoriertes Elastomermaterial, das speziell für die Halbleiterbranche entwickelt wurde und die Leistungsfähigkeit dort erweitert, wo andere FKM zu versagen beginnen.

Aufkommende reaktive Chemien, wie sie in ALD- und Epi-SiGe-Prozessen vorkommen, haben eine höhere Kondensationswahrscheinlichkeit und erfordern Wärmemanagementsysteme, die die Temperaturen in den Vor- und Abgasleitungen erhöhen, um zu verhindern, dass Gase Partikel auf den Anlagen ablagern. Da die Temperaturen in diesen Produktionslinien steigen, haben viele führende Gerätehersteller auf FFKM wie Chemraz® SFX umgestellt, um die Sicherheit und die Toolbetriebszeit sicherzustellen

Da Chemraz® SFX höhere Betriebstemperaturen bis zu 300 °C/572 °F und eine breitere chemische Beständigkeit als FKM aufweist, trägt die Adoption von Chemraz® SFX zur Gewährleistung der Zukunftskompatibilität bei. Dokumentierte Praxiserfahrungen haben die chemische Beständigkeit gegenüber einer Reihe von SubFab-Abströmen in diesen Temperaturbereichen erwiesen und und die interne Greene Tweed-Analyse hat gezeigt, dass SFX zusätzlichen Schutz vor chemischen Wechselwirkungen in der Leitung bietet, indem es den Einschluss von Feuchtigkeit und Sauerstoff begrenzt.

Wenn Sie sicherstellen, dass der richtige O-Ring ordnungsgemäß in die KF-Fittingbaugruppe installiert ist, minimieren Sie die Gefahr eines vorzeitigen Versagens. Im Unterschied zu anderen in der SubFab häufig verwendeten Materialien, die in der Regel schwarz sind, ist Chemraz® SFX grau und F10 cremefarben, wodurch sie leichter von anderen Materialien zu unterscheiden sind und sich die Gefahr verringert, dass das falsche Material eingebaut wird.

Zudem beruht der Leistungsvorteil von Chemraz® SFX unter rauen Bedingungen auf seinem innovativen Dichtungsdesign. Die von Greene Tweed speziell entwickelte Baugruppe überwindet die mechanischen Einschränkungen von KF-Anschlüssen in extremen Prozessumgebungen und verbessert die Dichtungsleistung. Die maßgeschneiderte Baugruppe ist in verschiedenen Materialien erhältlich, darunter Edelstahl, Aluminium und PTFE. Chemraz® SFX-Lösungen werden in einer grün gefärbten Ausführung angeboten, als zusätzliche Sicherheitsmaßnahme, um die Verwendung des richtigen Materials und der richtigen Dichtung zu gewährleisten.

Gestützt auf ein breites Portfolio an Elastomermaterialien, darunter Allzweck- und Hochleistungscompounds, und die Erfahrung in der Halbleiterbranche evaluieren die Ingenieure von Greene Tweed jede Anwendung sorgfältig und empfehlen das am besten geeignete Material, um so hervorragende Betriebskosten zu realisieren.

Bitte setzen Sie sich mit Greene Tweed in Verbindung, um herauszufinden, ob eine Chemraz® SFX- oder Fusion® F10-Dichtungslösung Ihre SubFab-Anforderungen erfüllen kann.

 

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